真空气氛管式炉

产品介绍

真空气氛管式炉技术参数：

加热区域：外径φ60*加热区L300

工作温度：300℃

高温度：1400℃

大真空度：-0.1Mpa

密封方式：304不锈钢KF法兰

可能气氛：所有惰性气体，氮气、氩气、二氧化碳、水蒸气

升温速率：≤30℃/Min

控温度：±1℃

加热元件：硅碳棒

热电偶：K型

工作电压：220V 50HZ

功率：5KW

管材：99刚玉管

二、真空气氛管式炉-中奥菲达特点：

炉体结构：

1.采用双层壳体结构，并带有风冷系统，使表面温度低于70℃（参考值，详情请）

2.设备中配有2个氧化铝管堵，设备使用时必须把管堵塞入到炉管两端（恒温区和密封圈的密封性）（图片查看详细资料）

3.高纯氧化铝纤维作为炉膛材料（表面涂有高温氧化铝涂层，可提高加热效率延长炉膛使用寿命）

4.该炉可作为退火或扩散炉，大可用于8”晶片放在对应石英舟中

加热元件：掺钼铁铬铝(表面涂有氧化锆涂层，可以大大程度延长使用寿命）

密封法兰：

1.采用铰链式法兰和O形密封圈加上机械泵可使真空度达到10-2Torr（参考值，详情请）

2.可选购套温度测试装置（铠装热偶、补偿导线和温度仪表），用于测试炉管内部的温度

3.左侧水冷法兰：真空压力表、不锈钢针形阀和1/4”宝塔嘴接头

4.右侧水冷法兰：kf40真空接口，方便连接到kf40适用的波纹管、泵和kf40挡板阀。（如果您的泵是kf25接口，你需要个kf40-kf25转接头）

温控系统：

1.包含款YD518P型温度控制器

2.PID自动控温系统

3.智能化30段可编程控制

4.控温度：±1℃

5.两个温区分别有两个独立的温控系统控制

6.默认DB9 PC通信连接端口

7.通过MET认证

8.可选购电脑温度控制软件(用于YD518P系列控制器)用于控制升温曲线和导出数据

净重：约200 kg