双温区真空管式炉操作规程

一、开机

1. 打开电源。

2. 打开控气柜电源开关，预热15min，将流量显示仪调零。

二炼气

1. 放置四个管堵，安装法兰。

2. 左右温区均以3^oC/min升温至150 ^oC，保温30min，加热的同时抽真空，抽真空时，法兰将抽气针阀打开一点，待真空压力表降至-0.05 MPa时，分三个阶段*打开（约3圈）针阀，至-0.1 MPa保持30min。

三、气体置换

1. 关闭抽气口法兰上的针阀，打开气瓶约至0.04MPa以下，打开气柜上进气阀Tv1orTv2，同时观察气柜上的P1orP2压力，打开排气阀Tv3，再打开进气口法兰上的针阀

2. 打开MFC1or2至阀控位置，缓慢调节“设定"旋钮至最大（1000ml/min），当法兰真空压力表达到0.01MPa时，关闭其上针阀，调节流量为0，打开抽气口针阀，抽气至-0.1MPa，再关闭抽气口针阀。

3. 再二次打开进气口针阀，缓慢开流量至最大，真空压力表至0.01MPa，关闭进气口针阀，调节流量为0，打开抽气口针阀，抽至-0.1MPa，再关闭抽气口针阀，完成二次气体置换。

4. 根据需要重复气体置换（步骤3），一般三次，关闭真空泵。

四、实验

1. 充入0.01MPa保护性气体，关闭进气口针阀，等炉温降至室温，打开抽气口法兰，取出两个管堵。

2. 放入样品至热电偶位置，放入两个管堵至要求位置，安装法兰。

3. 确认抽气口针阀为关闭状态，打开真空泵，再缓慢打开针阀，真空压力表降至-0.05MPa，分阶段*打开针阀至-0.01MPa，关闭抽气口针阀，关闭真空泵。

4. 打开进气口针阀，调节气柜流量至最大，使真空压力表达0.01MPa，打开抽气口针阀对外排气，根据实验要求调节流量，一般为100ml/min。

5. 两侧同时设定升温程序，温差不能超过300 ^oC。

6. 工作结束，降至室温，取出样品，再放入管堵，安装法兰。

7. 关闭进气口针阀，打开真空泵，抽至-0.01 MPa，充入0.01MPa保护气体，关闭进气口针阀。